真空等离子清洗机 型号:SR-D5L

供应厂家:广东铄瑞科技有限公司
产品简介
真空等离子清洗机(Vacuum Plasma Cleaner)利用真空状态下产生的低温等离子体对材料表面进行处理,能够有效去除材料表面的有机物污染物、残胶、氧化物、积碳等,同时使材料表面粗化、激活,增强亲水性,为后续粘接、印刷、焊接、封装、镀膜等工艺提供可靠保障。
等离子清洗技术在许多工艺前进行,能达到事半功倍的效果,其中应用较多的工艺有:粘接预处理、印刷预处理、绑定预处理、焊接预处理、封装预处理等。
根据其本身特性,又较多应用于:清洗肉眼看不到的残胶、氧化物、积碳等,使材料表面粗化、激活、亲水性增强等。
SR-D5L 真空等离子清洗机广泛应用于以下行业:
电子行业:LED支架、晶圆、IC等的清洁和焊接性增强处理;电子元器件的绑定性增强,PCB和陶瓷基板的激活处理等。
包装行业:PET、PP、OPP、UV、纸盒或果酱瓶粘胶前的表面处理,大大降低胶水的使用成本,增强胶水粘结力5倍以上。
印刷行业:金属、玻璃、橡胶、塑料、复合材料等表面丝印、移印前等离子处理,可大大提高油墨的附着力;标签、果酱瓶、金属容器、电缆光纤喷码前等离子预处理增加其绑定性。
汽车行业:车灯粘接、镀铝、注塑、预处理;刹车片、点火线圈、引擎控制盖、保险杠等可经过等离子清洗技术得到清洗和激活,使其绑定性更加牢靠;车身及零部件的喷漆、镀膜预处理等。
塑料行业:塑料与橡胶、金属、玻璃等的粘接预处理,经过等离子清洗可大大提高表面活性;玩具、手机壳、电脑壳、文具壳等喷漆前预处理,可提高油墨的附着性。
其他行业:手机、生物、航空、军事、医学、器械、电镀、微电子等。
本机具体应用领域包括:喷漆前处理、线路绑定前端处理、丝印前端处理、焊接前端处理、整体活化改性处理、支架封装前端处理、化学腐蚀前端处理、镀膜前端处理、医药生物载体改性处理、大面积键合前端处理、贴合前端处理、亲水性提升处理等。
设备原理
真空等离子清洗/蚀刻机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体。这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光,故称之为辉光放电处理。
工作系统组成:气体A、气体B分别经流量计A、流量计B控制流量后进入反应腔体;腔体内部设有上下两组电极,由MF/RF电源供电;腔体侧方连接真空计监测真空度;腔体底部通过管路和阀门连通真空泵,真空泵将腔体内气体抽排至大气。
基材表面蚀刻效果:处理前金属表面附着污染物,表面粗糙;经氧气、碳参与反应后形成超净表面,表面变得洁净规整(电镜扫描对比,处理前后效果明显改善),显著提升材料表面活性与结合性能。
结构图:

规格参数
SR-D5L 真空等离子清洗机规格参数
项目 | 参数 |
腔体材质 | 316不锈钢表面处理 |
供电电源 | AC220V |
工作电流 | 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵) |
电源功率 | 0-300W,旋钮可调 |
频率 | 40KHz(偏移量小于0.2KHz) |
频率偏移量 | 小于0.2KHz |
特性阻抗 | 50欧姆,自动匹配 |
真空度 | 1Pa-100Pa(压力表量化值显示) |
气体路数 | 双路气体输入 |
气体流量 | 10—300ml/min(LZB-3WB玻璃转子流量计可调) |
过程控制 | PLC人机界面自动与手动方式 |
清洗时间 | 1-9999秒钟可调 |
功率大小 | 10%-100%可调 |
内腔尺寸 | 直径150×深度270mm(5L容量) |
外形尺寸 | 560长×540宽×410高mm(台式) |
重量 | 45Kg |
真空泵 | 飞越VRD-4(含油雾过滤) |
真空室温度 | 小于65°C |
冷却方式 | 强制风冷 |
设备配置
SR-D5L 真空等离子清洗机配置表
名称 | 数量 | 品牌/型号 | 参数 |
机架模组 | 一套 | 喷塑 | 560长×540宽×410高mm(台式) |
真空腔体 | 一套 | 316不锈钢 | 直径150×深度270mm |
电极板 | 一层 | 铝 | 单层 |
真空泵 | 一套 | 飞越 | VRD-4(含油雾过滤) |
中频电源 | 一套 | 自主研发 | 40KHz 0-300W |
PLC | 一套 | 日本松下 | FP0R-C16T |
触摸屏 | 一套 | Samkoon | EA-043A 4.7寸 |
气体控制 | 两套 | 玻璃转子流量计 | LZB-3WB 0-300ml/min |
压力表 | 一套 | 松下 | DP-100 |
泵与主机密封端口 | 两套 | 卡窟+密封圈 | KF25 |
继电器 | 一套 | 正泰/和泉 | |
电气系统 | 一套 | 松下 | |
控制系统 | 一套 | 松下 | |
接触器 | 一套 | 正泰/和泉 | |
电磁阀 | 三套 | 自主研发 | 2路进气一路泄压 |
设备清单
SR-D5L 真空等离子清洗机设备清单
名称 | 数量 |
等离子清洗机主机(型号以合同为准) | 1台 |
说明书 | 1套 |
真空泵连接管KF25 长度1.2m | 1根 |
外接气体管6×4 | 2根 |
托盘 | 1套 |
卡窟及垫圈KF25 | 2套 |
真空泵油(填充至泵体内) | 1壶 |
易损件清单
SR-D5L 真空等离子清洗机易损件清单
名称 | 规格 | 更换周期 |
真空泵油 | 1L装 | 6个月/补充更换 |
过滤器棉芯 | VOT-8 | 6个月/更换 |
密封圈 | φ10 | 2-3年/更换 |
工作环境(需客户自行准备)
1、电源及功率:供电电网要求220V、50/60Hz,电网波动±10%,电网地线符合国际要求,安装设备附近应无强烈电磁信号干扰。
2、安装环境要求:环境温度要求在0-40℃之间,湿度要求为15%-60%。
3、气源准备:氧、氩、氮、氢等气罐瓶(需搭配减压阀一起使用),进气压力>0.1MPa,气压接口规格:Φ8mm。
4、排风管道:与真空泵排气口相连接(如无尘室洁净空间需要)。
售后服务
设备抵达使用现场后,我司派遣专业售后人员前往现场/或远程视频指导进行安装、调试、培训工作。培训主要内容:机台操作流程、参数设置步骤、基本故障排查方法、设备保养注意事项等,确保用户端操作者安全、正确使用真空等离子清洗机。
持续服务:
① 质保期内,设备自身原因导致用户无法正常使用,我司无偿检修及更换已损坏配件。
② 质保期外,任何原因导致用户无法正常使用,我司依旧有义务进行有偿维修服务。
③ 因用户操作不当、未使用原厂配件、或自然灾害等原因导致用户无法正常使用设备,我司不承担赔偿责任,但依旧有义务进行有偿维修服务。
④ 服务响应时间:在接到买方通知后2小时内响应,以电话、邮件等方式快速指导买方解决故障。经买方人员努力后仍未解决的,我方将于48小时内到现场予以处理/或整机寄回厂家售后处理。
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