SR-D16L真空等离子清洗机
Vacuum Plasma Treatment System
（设备外观不断升级调整，以实际出货为准）
目录
一、等离子体介绍
1.1 产品原理
通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质，从而优化材料表面性能，实现清洁、改性、刻蚀等目的。
1.2 行业应用
二、产品介绍
2.1 产品概述
SR-D16L真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2.2 产品优势
v 产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。
v 水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
v 低耗能、耗气产品。
v 便捷的收放板方式。
v 真空系统集成，占地面积小。
v 合理的等离子反应空间，使处理更均匀。
v 集成的控制系统设计，使操作更方便。
2.3 产品结构
真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。
（A）真空腔及真空发生系统
真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）。
（B）等离子体发生器
等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。
（C）控制系统
本系统使用汇川触摸屏、汇川PLC、中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动->阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。
2.4 产品规格
真空等离子主机 | |
设备尺寸 | 主机：L460×W482×H460mm 真空泵：L380xW135xH280 |
重量 | 主机：40KG+ 泵：22KG合计62KG |
需求电源 | AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上） |
等离子发生器规格 | |
电源功率 | 中频 |
0-300W | |
电源频率 | 40 KHz/25KHz |
真空系统 | |
真空泵 | 飞越双级旋片泵（油泵）：8m3/h |
真空管路 | PU管 |
材质 | 铝合金 |
厚度 | ≥8mm |
密封性 | 军工级焊接密封 |
腔体内部尺寸 | L390×W310×H120mm |
电极板有效尺寸 | 360×270mm（宽×深） |
可用空间间距 | 70mm |
电极板布置方式 | 水平电极板 |
工作托盘 | 标配一套 |
工作空间 | 1层 |
工艺气体 | |
流量范围 | 0~300SCCM（使用大气） |
工艺气体气路 | 标配一路 |
控制系统 | |
系统控制 | PLC |
交互方式 | 7寸触控屏幕 |
2.5 设备尺寸图纸
file:///C:/Users/Admin/AppData/Local/Temp/ksohtml42984/wps1.png
2.5.1 主机尺寸图纸
2.5.2 等离子腔体图纸
file:///C:/Users/Admin/AppData/Local/Temp/ksohtml42984/wps1.png
三、规格要求
3.1 厂务规格要求
厂务规格要求 | |
交流电源规格 | 电源：AC220V，50/60Hz，5线，10A（总空开选型为C型以上） |
厂务排气 | 流量：2.0 m³/min（视情况定，标准无需接） |
厂务工作气体要求 | 注：标准无此项要求，视客户需求（定制气体，标准使用大气） 流量：1~10 L/min 压力：1~2 kg/cm² 管径：6×4 mm 材质：PU管 纯度：99.99%以上 |
3.2 配置清单
配置清单 | ||||
序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 备注 |
1 | 主机 | SR-D16L | 1 | 台 |
2 | 真空腔体 | 铝合金真空腔体 | 1 | PCS |
3 | 激励电源 | 中频电源 | 1 | 套 |
频率：40KHz/25KHz； 功率：0~300W; | ||||
4 | PLC | 汇川 | 1 | PCS |
5 | 触摸屏 | 汇川，七寸屏幕 | 1 | PCS |
6 | 流量计 | 浮子流量计 | 2 | PCS |
7 | 真空泵组 | 飞越双级旋片泵（油泵）：8m3/h | 1 | 台 |
8 | 真空计 | TVP | 1 | PCS |
9 | 说明书 | 真空等离子清洗机SR-D16L操作说明书 | 1 | 份 |
3.3 验收标准
验收标准 | ||
项目 | NO. | 内容 |
硬件验收 | 1 | 设备清单验收 |
2 | 出厂报告 | |
3 | 说明书 | |
性能验收 | 1 | 试用样品进行处理，处理效果和均匀性满足客户验收标准或者合同协议要求。 |
稳定性测试 | 1 | 连续10分钟等离子清洗测试 |
2 | 试片水滴角测试 | |
验收日期 | 1 | 设备交付后 2 个月内必须完成验收 |
3.4 损耗清单
损耗清单 | ||||
序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 寿命时间 |
1 | 真空泵油 | A200 | 1L | 3个月 |
2 | 腔门密封圈 | Φ5 | 1PCS | 1年 |
注：耗材的使用寿命时间与现场的使用条件有关系，以上寿命时间仅供参考
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